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放射温度計 IS12-Si

IS12-Si
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製品名
シリコンウェハ温度測定用放射温度計
型番
IS12-Si

IS12Siはシリコンウェハ用フルデジタル放射温度計です。
最速8msecの高速応答、短波長での検出で、シリコンウェハの温度を高精度で測定できます。

用 途

  • シリコンウェハ専用に設計された放射温度計です。

特 長

  • シリコンウェハ専用の放射温度測定器
  • 高速応答(最速10msec)が可能なので、温度変化の激しい試料や高速で移動する試料の温度測定に適しています。応答速度は10sまで設定できます。
  • 小スポット測定を実現しているので、小さい試料(サンプル)でも測定できます。
  • 6種類の固定焦点レンズ、3種類の可動焦点レンズを備えていますので、正確な温度測定が可能となります。
  • 完全デジタル回路で高い精度と安定性自由な温度範囲をスケーリングします。
  • 最高値保持回路を内蔵しているので、移動物体の測定にも適しています。
  • 固定焦点レンズと可動焦点レンズを選択できます。
  • 標準添付の専用計測ソフト(Windows用)でデータの記録とパラメータ設定ができます。
  • 直視ファインダー内の焦点スポットで、測定対象の位置を正確に家訓できます。
    また、より正確な位置確認のためのレーザーパイロットライトもオプションで使用できるようになります。

仕 様

温度範囲 400~1300℃、400~900℃、350~1000℃、500~1800℃
検出波長 近赤外の狭波長域(シリコンウェハの温度測定用に最適な波長を選択しています。)
  • インターフェースは、RS232またはバス接続ができるRS485を切り替え可能です。

基本システム構成図

5/12/140シリーズ

システム構成図

※画像をクリックすると拡大します

アクセサリー

冷却ジャケット
冷却ジャケット
冷却板
冷却板
エアパージ管
エアパージ管
ROT10,回転ミラースキャニング
ROT10
回転ミラースキャニング
ボール&ソケット固定台,鋼製
ボール&ソケット固定台
鋼製
ボール&ソケット固定台
ボール
ソケット固定台
LEDデジタル表示器
LED デジタル表示器
NG 0,DC24V電源装置
NG 0
DC24V電源装置

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