非接触温度計測のパイロメータ営業部

山里産業株式会社パイロメータ営業部

山里産業株式会社トップページ
045-438-1191
お問い合わせ

取扱い商品

放射温度計 Photrix Series

PhotriX
PDFカタログ・ダウンロード
製品名
高精度放射温度計
型番
Photrix Series

高速応答、小スポット、高精度を実現した放射温度計です。
0.7~1.65μmのワイドレンジ、30℃の低温から測定できます。 半導体材料全般、シリコンウェハー、金属表面の温度測定に適しています。

用 途

  • 半導体材料全般、シリコンウェハー、金属表面の温度測定に適した温度計です。

特 長

  • 1msecの高速応答です。
  • φ0.5/50mmからの小スポット測定が可能です。
  • 30℃の低音から測定できます。
  • レンズはライトパイプ型を採用し、視野欠けする狭い場所も使用できます。
  • レンズの測定範囲は、50mm~2000mmです。
  • 光ファイバーによる延長ができますので、高温雰囲気や高周波誘導加熱での測定ができます。
  • ライトパイプ型は真空シールすることで、真空内導入ができます。
  • ライトパイプ型はφ25×115のコンパクト設計です。
  • バージ機能を付加することで、安定した測定が可能となります。
  • オプションでアナログ出力(4~20mAおよび0~10V)も可能です。
  • RS232双方向通信機能と計測ソフトでPC管理に対応しています。
  • 計測ソフトを用いてパラメータ設定やデータロギング、グラフ表示が可能です。

仕 様

■レンズ型
Photrix レンズ型

検出波長温度範囲
0.88μm 280~2150℃、310~2600℃
0.90μm 270~2150℃、300~2600℃
1.55μm 125~2600℃、180~2600℃
0.70~1.65μm 65~1000℃、135~2400℃

■ライトパイプ型
Photrix ライトパイプ型

検出波長温度範囲
0.88μm 220~1300℃
0.90μm 210~1300℃
1.55μm 70~1100℃
0.70~1.65μm 30~670℃

■レンズ+ファイバー延長型
Photrix レンズ+ファイバー延長型

検出波長温度範囲
0.88μm 280~2150℃、300~2500℃、345~3600℃
0.90μm 280~2150℃、300~2500℃、345~3600℃
1.55μm 270~2150℃、290~2500℃、335~2600℃
0.70~1.65μm 65~1100℃、80~1300℃、115~2600℃

■ライトパイプ+ファイバー延長型
Photrix ライトパイプ+ファイバー延長型

検出波長温度範囲
0.88μm 250~1600℃、265~1900℃、300~2600℃
0.90μm 240~1600℃、255~1900℃、290~2600℃
1.55μm 100~1800℃、115~2400℃、155~2600℃
0.70~1.65μm 60~900℃、65~950℃、100~1400℃
  • アナログ出力は電流DC4~20mA、電圧DC0~10Vから選択可能です。
  • インターフェースは、RS232です。

基本システム構成図

Photrix Series

システム構成図

※画像をクリックすると拡大します

アクセサリー

■標準アクセサリ

通信インターフェース(CIM)
通信インターフェース
(CIM)
温度計~CIM接続ケーブル(4m)
温度計~CIM接続
ケーブル(4m)
RS232ケーブル(3m)
RS232ケーブル
(3m)
DC12V電源ケーブル(AC100V)
DC12V電源ケーブル
(AC100V)
計測ソフトウェア,TemperaSure
計測ソフトウェア
TemperaSure



■オプション

ライトアングルコネクタ
ライトアングルコネクタ
アナログ出力モジュール(AOM),4-20mA,0-10V同時出力
アナログ出力モジュール
(AOM)
4-20mA
0-10V同時出力
マルチチャンネル,インターフェース(MCI)
マルチチャンネル
インターフェース
(MCI)
ライトパイプ(特注仕様),お問い合わせ下さい。
ライトパイプ(特注仕様)
お問い合わせ下さい。

山里産業からのお知らせ

ページのトップへ戻る
ページのトップへ戻る